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105年5月19日之前既有未登記工廠
既有建物之事實
105年5月19日以前拍攝之航照圖
必要時，直轄市、縣(市)主管機關得命申請人提出以下文件之一：
1．接(用)水或接(用)電證明。
2．地形圖、都市計畫現況圖、都市計畫禁建圖。
3．建物使用執照。
4．房屋稅單、稅籍證明或房屋完納稅捐證明。
5．建物登記證明。
6．未實施建築管理地區建物完工證明書。
7．載有該建物資料之土地使用現況調查清冊或卡片之謄本。
8．戶口遷入證明。
從事物品製造加工之事實
指下列文件之一：
1．臺灣電力股份有限公司用電種類為裝置電力、需量電力或表燈營業用電之電費單據或其所出具之證明，且地址應與廠址相符。
2．向稅捐單位申報之年度營利事業所得稅申報書（損益及稅額計算表），且其申報營業地址與廠址相符。
3．購買技術所支付之權利金、授權金與技術支援、顧問、生產用機器、設備及其他相關費用證明，且其地點與廠址相符。
4．工業團體會員登記資料，且其登記地址與廠址相符。
5．其他經直轄市、縣（市）主管機關審認足資證明之文件。
除航照圖外，得以足資認定於105年5月19日前於廠址內從事物品製造、加工事實之行政或司法機關製作之文書、處分書或裁判書替代之。
非位於中央或地方主管機關公告不宜設立工廠地區
災害
敏感
資源利用
敏感
公告不宜
設立工廠
生態
敏感
農產業群聚專區
文化景觀
敏感
依法禁止或限制開發
特定工廠取得用地合法途徑
取得特定工廠登記者
群聚地區
零星工廠且位於都市計劃以外之土地
零星工廠且位於
都市計畫土地
優先採新訂都市計畫或開發產業園區規劃處理，依都市計畫法、區域計畫法、國土計畫法相關規定辦理土地使用分區變更或使用許可
提出用地計畫申請特定工廠使用地證明書，繳交回饋金辦理使用地變更編定(特定目的事業用地)。但地方政府因整體規劃之需要，駁回之。
依都市計畫法規辦理
特定工廠完成使用地變更後，得申請工廠登記，但限於低污染產業類別